二手 MRC 903 #9242553 待售

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製造商
MRC
模型
903
ID: 9242553
Sputtering system Includes: Chamber (3) targets Heating station (No lamps) Load-lock Lift Movements (Except motor and carrier) Diffusion pump Vacuum valves Gas distribution (So So) ADVANCED ENERGY 15 kW DC Power supply Does not includes: Gas pipes Primary pumps Gauges Movements automation.
MRC 903是一種濺射設備,設計用於將薄膜材料沈積到表面上,以制造薄膜結構。該系統由真空室、真空泵、濺射槍、自動載荷室和計算機控制的濺射電源組成。903有一個集成的旋轉葉片泵,以維持真空室內的低壓。泵連接到腔室入口,以便在大氣壓下疏散空氣。腔室可以將腔室中的氣體排空到1x10-6 torr。這使得大量的材料和基材得以加工。腔內的濺射槍用來將膠片從目標材料濺射到基板上。濺射能量是由真空室內的目標材料負充電以及發射高能離子的噴射器噴槍產生的。濺射過程在基板上產生沈積材料的薄膜。為了使生產過程最大化,MRC 903采用了可容納多種基板的自動加載室。一旦基材在室內就位,濺射過程就開始了。腔室被疏散到合適的壓力,並使用計算機控制的濺射電源為目標材料提供必要的動力。一旦膜沈積,底物可以移動到蒸發器,以便加熱。蒸發過程產生均勻的薄膜,然後轉移到冷卻室中冷卻。膜一旦冷卻,就準備用於多種應用。903有一個集成的計算機單元,可以對整個濺射過程進行編程和監測。該工藝可根據各種基材、薄膜和應用要求進行定制。這使得在高沈積速率下以高精度和均勻性沈積多種材料成為可能。MRC 903是一種高效的濺射機,為用戶提供精確、可重復的薄膜沈積。先進的計算機工具允許對工藝進行全面定制,確保了高質量和均勻的薄膜沈積。該資產適用於各種材料、基材和應用。
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