二手 MRC 903M #9166595 待售
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MRC 903M是由MuRata Machinery Ltd設計制造的高度通用、可靠的濺射設備。是一種先進的濺射工具，適用於在矽、銅、玻璃、聚合物、低k材料等多種基材上的精密清洗、蝕刻、沈積和薄膜加工應用。它由三個主要組成部分組成：一個精確控制的真空室、一個專門設計的氣體歧管和一個機器人樣級運動控制系統。MRC 903 M真空室的設計實現了高度的機械、熱、真空穩定性，極限壓力為1x10-6 Torr。溫度控制的加熱部件可以維持在-25攝氏度至+150攝氏度之間的均勻溫度。該腔室還設有一個高純度、低放氣的不可蒸發吸氣泵，它可以清除不可冷凝氣體並防止樣品汙染。903M經認證可與各種加工氣體兼容,包括高純度Ar、He、O2、N2、NF3、CF4和其他特殊氣體。氣體歧管單元有效控制濺射過程中使用的不同氣體的流量、成分和壓力。有單獨的氣室用於充氣和惰性氣體，以及一個用於調節壓力的旁通閥。氣體控制閥定位準確，能夠對氣體流量進行精確調節。這使得903 M能夠精確控制不同基板的沈積輪廓和層厚度。MRC 903M機器人試樣臺預裝雙軸試樣架和機械夾緊機。它具有X軸和Y軸運動的高精度直線電動機，允許精確定位和非常平滑的運動模式。此外，對於不同的階梯覆蓋角度，樣品支架可以旋轉180度，以實現更好的塗層均勻性。總之，MRC 903 M濺射工具是一種用途廣泛、技術先進的精密薄膜塗層應用工具。它包括一個精確控制的真空室、一個動態平衡的氣體歧管和一個高精度的機器人采樣級運動控制資產，使其成為高精度清洗、塗層和蝕刻過程的理想選擇。
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