二手 MRC 943 #293627993 待售

MRC 943是一種濺射設備，利用先進的基於磁控管的技術將材料薄膜沈積在不同的基板上。它是一種數字PVD（Physical Vapor Deposition）工具，提供了一種簡單、經濟高效的材料薄膜沈積方式。該系統具有專門設計的eVance™技術，以極低的材料成本以較高的沈積速率沈積材料。943是利用兩個磁控管濺射模塊的多室單元，設計用於生產金屬、氧化物、矽化物、碳納米管等不同類型的薄膜。該機采用非接觸式基板傳遞工具，實現了連續操作，實現了出色的表面均勻性。它配備了智能控制模塊和數據記錄能力，允許最大限度的過程控制和優化。它有兩個用於沈積薄膜材料的濺射目標。目標安裝在腔室內，呈圓柱形。靶子由鋁、不銹鋼、的等固體金屬制成。目標具有很高的電阻率，使其能夠生產出低沈積率的優質薄膜。MRC 943資產配備了感應耦合等離子體源，創造了一個高度精確和可重復的濺射過程。等離子體源也有一條具有可調電源的高壓線，對等離子體能量提供精確的控制。943具有內置的高速動態功率控制模型,可自動編程過程參數,包括基板溫度、電壓和壓力。它還具有自調模式，使設備能夠自動調整工藝參數，以優化膜沈積工藝。該系統還配備了原位膜厚度監測器和可選的用於膜表征的電子光譜儀。這樣可以更準確地監測沈積過程以及分析沈積膜。該單位是一個可靠、全自動和方便用戶的單位。它是一種多功能機器,可用於各種應用,例如用於光學、電氣、機械和生物醫學應用的薄膜沈積。MRC 943是滿足當今PVD需求的有效、高效和可靠的工具。