二手 MRC 943 #293703391 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293703391
Sputtering system
Qty / Make / Model / Description
(4) / Granville Phillips / 316 / Vacuum gauge controller
(2) / Varian / 880RS / Vacuum ionization gauge
(10) / SELAC / XT206 / Timer
(2) / MKS / Analog Type 260 / Gas needle valve
(2) / MKS / Display Type 261 / MAS Flow meter
(2) / Varian / - / Diffusion pump
(5) / Assembled / Assembled / Target gun
(1) / ZLX Tech / - / Sputtering target -Titanium
(1) / ZLX Tech / - / Sputtering target -Iron
(1) / ZLX Tech / - / Sputtering target -Cobalt
(1) / ZLX Tech / - / Sputtering target - Chromium
(1) / ZLX Tech / - / Sputtering target - Aluminium
(1) / Advance Energy / MDX-1K / RF Generator
(1) / Advance Energy / MDX-5K / RF Generator
(2) / Assembled / Assembled / Vacuum chamber
(2) / ADWARDES / 40-2Satges / Vacuum pump, (40-2 Satges)
(1) / Assembled / Assembled / Step down stablizer, (110-3 Phase)
(2) / Assembled / Assembled / Electric panel.
MRC 943是材料研究公司制造的一種濺射設備。它是一個多源系統，意味著它有能力將幾種不同類型的薄膜沈積到基板上。943利用磁控管濺射工藝將塗層沈積到基板上。MRC 943有一個18英寸、六站式濺射室，設計用於容納多支濺射炮。腔室配有一個高真空單元，底壓為10-4毫升。有了強大的渦輪分子泵和可編程的氣體控制機，腔室可以達到10-6毫升的壓力。射頻（RF）電源為六支濺射槍各提供20瓦功率，允許嚴密控制薄膜沈積。濺射槍裝有鎢、的或其他惰性的無損濺射目標。要沈積的塗層可以單次沈積，也可以用多個靶子制造出性質不同的多層塗層。943的線性機器人臂允許塗層過程的完全自動化，並且能夠一次噴塗整個基板。除濺射外，MRC 943還可用於退火和雕刻應用。退火過程可實現輻射退火，使沈積在基板上的薄膜均勻退火。雕刻工藝用於在集成電路的基板上創建窄凹槽。943還具有可編程控制器和大型彩色顯示器以及直觀的可編程邏輯控制器（PLC）。憑借其強大的內置自動化控制工具，可以對MRC 943進行無縫、自動的薄膜沈積控制和監控。943是先進可靠的濺射資產，能夠以極高的精度沈積薄膜。憑借其多源功能,它提供了廣泛的功能以適應不同的應用程序要求。總而言之，MRC 943是一款理想的濺射機型，提供無與倫比的性能和可靠性。
還沒有評論