二手 MRC 943 #293749818 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293749818
優質的: 1980
In-Line DC Magnetron sputtering system
Position: 3-Target
RF Cathode system
EDWARDS / CTI CRYOGENICS Cryo-Torr Pump, 8"
LEYBOLD D30A Rotary vane pump
LEYBOLD WSU-151 Roots blower
EDWARDS / CTI 9600 Compressor
Does not include targets
Manuals
Baratron gauge non-functional
Missing parts:
Load lock cryopump
Transport scan motor
1980 vintage.
MRC 943是一種DC/RF濺射設備，用於在科學實驗室的基板上生產薄膜。適用於沈積速率範圍為0.002至10 nm/s的不同厚度的塗覆材料。該系統由沈積室、射頻/直流電源、輔助供氣單元和真空機組成。沈積室設有一個垂直安裝的磁控管目標，直徑可達10英寸，並有一個集成的計數器電極。它連接到包括機械和機油密封泵、幹式增壓泵以及用於高真空操作的渦輪分子泵的真空工具。此外，該資產還具有輔助氣體輸送模型，用於濺射過程控制和前體輸送。RF/DC電源為均勻的薄膜沈積提供了高達300W的功率，也可用於補償目標侵蝕。設備高度可定制，可與各種反應氣體和前體一起使用。它配備了基於微處理器的控制器，具有多區監控能力。它能夠手動或自動操作,並具有先進的健康診斷和安全功能。此外，它還支持遠程通信功能，允許遠程監控和控制系統，並為用戶提供更大的靈活性和便利。簡言之，943是一種可靠、高性能的濺射裝置，適用於各種薄膜應用。
還沒有評論