二手 MRC 943 #9199346 待售

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製造商
MRC
模型
943
ID: 9199346
Sputtering system Compressor Mech pump System hardware: MRC Load lock assembly CTI CT-8 Cryo pump: Load lock Process chamber (3) SIERRA Scientific planar 5"x15" cathodes (3) Target shielding sets ADVANCED ENERGY MDX-10 DC Power supply: 10 kW MRC Hivac valve With MRS throttle valve assembly (3) MKS MFC MKS 390 Baratron assembly MRC Hydraulic system ENI OEM-12A RF Generator ENI Matchwork 10 RF Matching unit Rack hardware: GOULD / MODICON PLC Controller GP-303 IG Controller MKS 252 Throttle valve controller MKS 247 MFC Controller: 4 Channels (5) GP-275 Convectrons TCR DC Voltage power supply (MRC Rail bias).
MRC 943是一種先進的直流磁控濺射設備,用於薄膜塗層應用的研發。它具有大型、可靠的磁控管槍和廣泛的沈積速率控制能力。該系統配備了先進的高頻諧振腔等離子體發生器,以確保沈積室中等離子體均勻,從而提高性能和精度。943包括一個多室配置,允許在該過程中同時包含多達四種目標材料。MRC 943的集成過程控制單元具有過程參數的閉環控制功能,包括能夠毫不費力地調節功率水平、氣體流量和氣體壓力。這臺機器能夠執行各種濺射塗層步驟序列,以及監控和調整曝光,以確保準確和可重復的沈積結果。此外,板載冷卻風扇有助於降低工作溫度並提高工具的可靠性和使用壽命。為了以高精度在眾多基板上進行沈積,943包括兩個獨立的獨立陰極,可以遠程調整以在平面或圓柱形磁場之間進行選擇。這種特性可以精確控制電子通量,並在廣泛的基板尺寸和形狀上均勻沈積。資產由易於使用的控制傾斜顯示器操作,包括預設塗層配方,以節省時間和精力。它還具有用於故障排除的自動運行結束診斷功能。此外,用戶還可以使用顯示沈積壓力、溫度和工藝參數等信息的可視界面實時監控整個沈積過程並調整配方。MRC 943包含一個完整的軟件包,用於配方加載、沈積控制和監控、反饋和報告。還支持其他功能,例如並行控制多個MRC系統、數據記錄功能和可編程硬件。簡而言之,943是一種功能強大、易於使用且可靠的濺射模型,可提供高精度快速沈積,並具有精確的均勻性和對整個過程的控制。它非常適合研究實驗室、科學實驗室和工業過程。
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