二手 MRC 943 #9373252 待售
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ID: 9373252
Sputtering system
Load locked RF and DC
With substrate heat and RF etch
(2) Planer cathodes
Inset cathode
Cathodes: 5" x 15"
Substrate carrier: 13" x 13"
CRT Screen
ADVANCED ENERGY MDX10K DC Magnetron power supply
ADVANCED ENERGY RFX II 3000 RF Generator.
MRC 943是一種濺射沈積儀,通常用於半導體、航空航天、醫療、汽車和其他工業應用。它是一種三束行星幾何濺射沈積設備,設計用於以精確、可重復、經濟高效的方式生產高質量、一致的沈積物料層。該儀器提供了廣泛的處理能力,包括物理氣相沈積(PVD)、聚合物沈積和反應性濺射沈積。943由三束濺射源、旋轉軸和真空室組成。濺射源配備了三個可單獨調節的陰極,提供了同時濺射分離材料的能力。單獨的陰極允許多過程沈積,從而簡化復雜的模式操作。三個磁性渦輪齒輪提供高達每小時110轉的基板旋轉,允許均勻塗層。MRC 943的雙通道旋轉軸使加工時間最小化,允許多層在短短五分鐘內沈積。943系統能夠沈積具有廣泛特性的材料,包括導體、光學塗層和薄膜屏障。該單元利用了廣泛的濺射氣體和基板可以編程旋轉,循環,輸送,等等。該儀器配置性強,為用戶提供了調整氣體壓力和處理時間等參數以滿足特定應用的能力。此外,MRC 943具有卓越的工藝控制和可重復性,非常適合生產環境應用。943是一種功能強大、精確、成本效益高的濺射沈積儀器,能夠產生高質量、均勻的沈積層。它創造了各種各樣的加工材料,非常適合各種工業應用,包括航空航天、醫療、汽車等。MRC 943機器為用戶提供了多種功能,如多陰極操作和旋轉軸,以方便復雜的生產操作。此外,該工具還提供了出色的工藝控制和高精度的精密層和優異的效果.
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