二手 MRC Mark II #9269893 待售

MRC Mark II是由MRC Technologies開發的濺射設備，用於廣泛的行業和應用。它是一種多組分蒸發系統，能進行濺射、薄膜沈積和熱蒸發。Mark II可容納各種濺射陰極、目標材料和尺寸,具體取決於所需的終端應用。它是一個具有環境壓力的閉環單元，能夠維持廣泛的工藝參數。MRC Mark II具有耐用和耐化學的6毫米厚的不銹鋼室，以及兩個0.5英寸厚的石英視窗和百葉窗，以協助監測沈積過程。一個帶有基板支架的旋轉穿梭可以方便地在工藝模塊之間轉移。其先進的多級過濾機防止了工藝室的汙染，保護濺射目標不被氧化。Mark II能夠在真空或大氣中進行多層沈積。它的升降機允許在不均勻的樣品表面上均勻沈積，其可變電源對離子能量進行精確控制，使其能夠沈積金屬、氧化物和氮化物。它的等離子源電源控制離子轟擊和濺射速率，而它的12位旋轉臺在過程之間快速傳遞樣品。MRC Mark II也有能力用於各種沈積實例組合。例子包括射頻/直流濺射、磁控管濺射、離子束濺射、物理沈積和熱蒸發。它可以與多種沈積源結合起來，形成一個腔室，成為一個IBS-RF濺射工具，例如，允許在多種基材上沈積的超薄膜和多層膜。其現代的控制和監測特點包括實時過程和溫度監測、過程診斷、可變氣體凈化率控制。這可以對整個過程進行精確的監控,並可以重復執行高質量薄膜的參數。Mark II是實驗室和生產設施需要薄膜沈積以用於各種應用和材料的理想解決方案。