二手 MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse #9238094 待售

MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse是一種用途廣泛的濺射設備，用於各種薄膜應用，包括半導體和介電器件的制造。它具有獨特的雙槍設計，利用兩個獨立控制的電子槍在同一個濺射室中，使多種薄膜材料在一個過程中的高精度和高度可重現的沈積。電子槍位於腔室的相對兩端，MRC Eclipse的功率特征可以用兩個集成電源精確控制，這兩個電源允許微調每種目標材料的沈積速率和材料層之間的沈積速率比。MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse還具有精確的沈積控制系統和獲得專利的線性運動進紙器單元，為單層或多層應用提供了出色的跨基板均勻性。該機包括多種薄膜沈積技術，如磁控管濺射、低溫氘等離子體沈積，還允許具有高分辨率旋轉靶的大功率脈沖等離子體沈積。旋轉靶提高了大面積基板上薄膜的均勻性，而等離子體脈沖頻率提高了沈積速率，提高了工藝的可重復性。此外,半球形源選項為Eclipse的功能提供了額外的多功能性層,允許特定於底物的自定義濺射過程。MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse的多功能性因其能夠容納廣泛的基板、目標和設備元件，以及與主要薄膜設備制造商的工藝工具的兼容性而進一步增強。MRC Eclipse還提供了廣泛的自動化功能,以提高過程的可靠性和控制。流程界面包括手動和可編程模式，通過腳本實現全過程自動化，以及用戶友好的圖形界面，方便配方設置和控制。MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse結合了所有功能,提供了無與倫比的濺射功能,可用於高精度的設備制造。