二手 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9108496 待售

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star是一種濺射設備，旨在為各種材料提供優越的沈積。該系統的獨特功能允許改善金屬濺射目標的均勻性和均勻覆蓋，以及電介質、金屬氧化物和氮化物的均勻沈積。MRC Eclipse Star是一種雙槍直流濺射裝置，專用等離子體清洗。它具有用於退火和熱處理的高溫鐘爐，以及能夠達到10-7帕的基本真空的高真空能力，這使得它適用於涉及氣體和液體的各種過程，以及濺射和蒸發過程。主要部件為雙槍濺射源、高溫鐘爐、等離子體清潔器、電子束蒸發源、高真空泵機。濺射槍通過向目標材料加速一束帶正電荷的氙原子起作用，導致濺射。每支濺射槍後面有一個強大的磁鐵陣列，作為的引導物，導致目標材料的均勻覆蓋。高溫鐘形爐可用於在最高1200C的溫度下對晶片基板進行退火或熱處理。這樣可以在處理III-V和II-VI材料時更好地控制晶體結構和摻雜剖面，以及在使用金屬時提高產率。此外，加熱爐和濺射槍的組合可以提高沈積厚度的均勻性和大面積的均勻性。TEL Eclipse Star是一種可靠且經過驗證的沈積工具，專為需要高度均勻性和均勻覆蓋濺射目標的過程而設計。它的特點允許各種材料的可靠沈積和改善膜的均勻性，使其能夠在各種濺射應用中使用。