二手 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9222754 待售

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star是一種物理氣相沈積（PVD）濺射設備，設計用於以受控、高效的方式將材料薄膜沈積到基板上。MRC Eclipse Star配備了8英寸單晶片負載鎖室，減少了來自大氣的汙染。該系統與各種材料和基材兼容，非常適合各種定制塗層應用。TEL Eclipse Star具有廣泛的濺射源，包括平面磁控管、多片式目標或由多種射頻和直流電源供電的專用陰極。這可以使材料有針對性地以各種格式沈積到基板上。該裝置還采用低基板加熱技術，提高了濺射膜的均勻性，同時沈積在溫度敏感材料上。TOKYO ELECTRON Eclipse Star是為了最佳的過程控制而設計的，有一個用於使用者輸入和機器監控的網路PC。它還具有閉環過程控制功能，通過對濺射參數的閉環控制，實現了精確、可重復的塗層性能。該工具由一組附件完成，包括溫度控制器、多氣體閥、基板旋轉和線性運動跟蹤器。此外，資產還具有改進流程控制的高級流程監控功能，包括自動化調整模型，允許在沈積過程中快速準確地進行流程調整。它還包括一個功能強大的計量軟件和硬件集合，包括SECS/GEM協議，使閉環過程控制和過程結果的實時過程監測成為可能。Eclipse Star是一種經濟高效的解決方案,可滿足各種薄膜沈積需求,提供高效、可靠且可重復的塗層效果。它具有易於安裝和維護的模塊化設計,以及廣泛的濺射源、溫度控制系統和定制附件,使設備適合定制工作流程。先進的工藝監控功能和計量硬件和軟件使MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star成為任何薄膜沈積應用的理想解決方案。