二手 NEXX SYSTEMS Nimbus 304 #9260884 待售

NEXX SYSTEMS Nimbus 304濺射塗層設備是一種獨特的沈積系統,為研究和工業濺射應用提供高性能和最佳的靈活性。該單元設計獨特，以滿足大型和小型流程的要求，包括特定於應用程序的流程控制系統。Nimbus 304利用6 x 6英寸（152毫米）的腔室、高功率、高效磁控管濺射源和脈沖直流（PDC）電源，制造出均勻性、一致性、可重復性極好的濺射薄膜塗層。氣體流速和壓力、基板加熱、源功率、目標電流、腔室壓力和工藝腔室壓力控制是可以調整的變量之一，可以精確傳遞所需的塗層材料和厚度剖面。高功率容量允許更高效的濺射沈積速率，PDC工藝控制技術降低了工藝變異性，提高了復雜薄膜要求的均勻性。濺射源設計用於所有標準濺射材料，包括隔離金屬、氮化物、碳化物、氧化物和導電復合材料。NEXX SYSTEMS Nimbus 304通過使用先進的流程控制和監控系統提供了出色的流程重復性。該機器包括塗層配方和可定制開發選項的綜合庫,以幫助確保最佳性能和結果。直觀的用戶界面、觸摸屏控制面板和集成的診斷程序使設置和自定義所有濺射過程變得容易。該工具還提供低溫冷卻，以實現更快的基板冷卻和更短的冷卻時間。冷卻設備包括相變低溫冷卻,溫度約為-100 °C。6英寸的腔室，加上低溫冷卻技術，大大減少了因冷卻時間造成的濺射損耗，有助於確保高質量的可再現薄膜。Nimbus 304濺射模型還具有被動或主動泄漏檢測、高級安全協議和個人防護設備等功能，以確保用戶在處理過程中的安全。該設備還通過在線服務診斷和控制以及易於取用的部件更換提供了方便的維護。