二手 NEXX SYSTEMS Nimbus 314HP #9263222 待售

NEXX SYSTEMS Nimbus 314HP
ID: 9263222
PVD Sputtering system.
NEXX SYSTEMS Nimbus 314HP是為研發應用而設計的完整膜濺射設備。其主要特點是能夠同時濺射多層薄膜,同時在相對較大的區域內保持對沈積速率和薄膜厚度的高度控制。Nimbus 314HP濺射系統以通用的NEXX高速卡盤(NC)為基礎,為高效、快速、精確的薄膜沈積提供了先進的設計。其精密的設計、材料和操作方法與同級別的其他系統相比,都能協同工作,從而實現更高的能量沈積速率和更快的工藝時間。與其他可比系統不同,NEXX SYSTEMS Nimbus 314HP不利用離子束蝕刻來實現濺射薄膜和層時的高控制。Nimbus 314HP具有一系列關鍵功能,使其成為濺射膠片和圖層的理想選擇。它具有高密度的射頻等離子體源,允許更高的等離子體電離密度,加速膜沈積。它還有一個大的目標加載線圈設計,這有助於確保均勻的薄膜分布。此外,還可以對沈積速率進行微調,以便在大面積上進行高度準確和可重復的沈積。這種精密控制也得益於設備的高穩定性工藝室,這確保了整個樣品表面的均勻沈積。此外,NEXX SYSTEMS Nimbus 314HP設計為用戶友好,包括一個完整的圖形用戶界面(GUI),用於編程和監控機器的運行。這使得用戶易於監控和調整沈積速率,監控薄膜厚度,設定沈積目標,保存工藝型材以備將來使用。最後,Nimbus 314HP是一種高性能濺射工具,能夠在大面積上產生高精度、均勻的薄膜和層。其特點,包括高密度射頻等離子體源、目標載荷線圈設計、高穩定處理室和全圖形用戶界面(GUI),使其成為研發應用的理想選擇。
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