二手 NEXX / TEL / TOKYO ELECTRON APOLLO XP #9137393 待售

NEXX/TEL/TOKYO ELECTRON APOLLO XP是一種用於將材料薄膜沈積在基板上的濺射設備。該系統由帶泵送單元的真空室、濺射沈積材料的來源和基板支架組成。泵機設計用於將所有空氣從腔室中排出到所需的真空水平，為濺射沈積過程準備環境。采用兩級渦輪分子泵來幫助確保達到理想的真空水平。一旦撤離，便用氮氣清洗腔室，為沈積過程提供清潔穩定的環境。濺射沈積材料的來源通常是一層薄薄的金屬或合金，然後將其汽化並沈積到基板上。物料來源通常包含在腔室內的一個熔爐內，然後加熱到高溫使物料蒸發。一旦汽化，材料就會被磁控管源噴出，其中利用電流產生磁場。這種磁場將汽化的材料噴射出坩堝，使其噴灑過基板。工具的最後一個部件是基板支架，用於將基板固定到位，並允許材料的準確和一致的沈積。基板通常由不銹鋼或銅制成的夾具固定在適當的位置。這種夾具的設計是可調的，以容納各種底物，也便於材料的精確沈積。這三個組成部分構成了TEL APOLLO XP資產，並在結合時提供了一種有效可靠的將材料沈積到基板上的手段。該模型能夠以較高的精度和可重復性沈積金屬和合金材料薄膜。這使其成為廣泛應用的理想工具，包括光學塗層、半導體加工和醫療設備制造。