二手 NMC iTOPS A230 #293639723 待售

NMC iTOPS A230是NMC生產的先進物理氣相沈積（PVD）濺射設備。它是為廣泛的工業、商業和研究應用而設計的。該系統可以將金屬和介電氧化物薄膜沈積在各種基板上，在生產具有精確控制水平的高質量薄膜方面提供優異的性能。濺射裝置裝在一個由不銹鋼和鋁構成的標準金屬室中，蓋子設計用來承受高溫和壓力。該腔室連接到一個屏蔽源腔室，該腔室裝有磁控管濺射源，能夠進行正負偏置操作。由直流電源供電的強大磁控管產生等離子體，用於將目標材料濺射到基板上。腔室裝有高能螺線管供電的電源切換機，允許在不同的源之間切換，防止過渡誤差。該工具配備了自動化的鎖載進料資產，以確保在所有操作條件下順利處理基板。它還包括一個高效的排氣模型和強大的真空泵，能夠維持高水平的真空條件沈積過程。通過設備的數字控制技術可以設置一整套過程參數，讓用戶準確、精確地控制濺射過程。為了監控運行過程中的性能參數，系統配備了光學和紅外傳感技術的組合。光學探測器陣列能夠連續監測沈積速率、薄膜質量和薄膜厚度。紅外探測器用於測量沈積膜的溫度變化和化學成分。該單元還配備了先進的自動化層構圖控制機器，可以精確控制層的構圖。集成軟件包使該工具特別方便用戶,易於監控和控制。總之，iTOPS A230 SputteringAsset是一種適用於各種工業、商業和研究應用的先進模型。精密工程與先進技術相結合，為用戶提供了對薄膜沈積工藝的完全控制，確保了薄膜質量可靠一致。