二手 NORDIKO 3000 #9228384 待售
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ID: 9228384
Dual ion beam sputter coater
Al203 RF Coupling ceramic window have been replaced
(14) DIBS Targets, 6"
Al, TiN, Zr, Ni, SiO2, Mg, Si, Yt, ITO, Cr, Hf, Zn, AlN, Mo
Spare parts:
Qty / Make / Model / Description / Part no
(1) / LEYBOLD / Trivac D40 BCS PFPE / Roughing pump / 11389B
(1) / LEYBOLD / TurboVac 100C / Turbo pump / 85535
(1) / LEYBOLD / Turbotronik NT1000/1500VH / Turbo controller / 40-2461-8
(2) / RF PLASMA PRODUCTS / RF5 / RF Controllers / -
(2) / SORENSEN / DCS 600 1.7 / Neutralizer power supplies / 1210
(1) / HELIX CTI CRYOGENICS / Cryo Torr 8 / Cryo pump / 8033179
(1) / CTI-CRYOGENICS / 8300 / Compressor / 8052000
(1) / GLASSMAN HIGH VOLTAGE INC / PS / ER OIR 300-220 / DC Power supply / -.
NORDIKO 3000是一個完整的濺射設備，由沈積室、真空泵、電源和控制單元以及必要的部件組成。該腔室設計為具有真空送電通路，允許向基板提供直流電壓以進行薄膜沈積。真空泵和控制單元允許在腔室中獲得最佳真空。電源用於操作磁控管，為濺射過程提供能量。3000配備磁懸浮和脈沖直流濺射技術。這使得沈積的金屬膜具有很好的均勻性、均勻性和極好的附著力。磁懸浮有助於保持一個非常均勻，高質量的濺射膜特征，即使在相當大的基板。NORDIKO 3000具有可調功率和頻率，在控制濺射膜金屬層的沈積速率和組成方面發揮關鍵作用。可調脈沖頻率也增加了沈積速率，同時提供了改進的均勻性，因為從脈沖非均勻加熱節點被消除。因此，3000可以同時產生致密和多孔的薄膜，這是高度附著於底物。NORDIKO 3000系統的多室設計使得兩種基板可以同時處理，從而提高了吞吐量。它還具有很高的能效,提供了更短的過程時間、更好的一致性和更好的可重復性。此外，該裝置由於具有多種密封機，能夠提供良好的環境保護。總的來說，3000濺射工具具有優異的性能，適用於許多不同的薄膜沈積應用。它可以為金屬和其他材料提供出色的均勻性、可重復性和附著力，從而對沈積過程進行極大的控制。
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