二手 NORDIKO 9550 #293746228 待售
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NORDIKO 9550是一種雙閥高壓濺射設備,設計用於薄膜的低溫沈積。它有兩個腔室:第一個是薄膜沈積腔室,用於沈積多種回填金屬的薄膜,第二個是高壓腔室,用高壓氣體填充系統,提供均勻的濺射速率。這個裝置能夠幹式和濕式濺射.在機器中,第一室被稱為沈積室,並配有不銹鋼室和兩個高度可靠的濺射目標。這些目標可針對各種濺射角度進行調節,工作電壓範圍高達1千伏。沈積室還裝有自動氣體噴射器,可精確控制室內的氣體壓力,並在室內中心裝有熱電偶,以便在濺射過程中進行溫度控制。該工具的第二個腔室是高壓腔室,其設計目的是提高濺射速率,使薄膜的沈積速度更快。該腔室設計有隔離氣體管線、高壓氣體噴射器和可調節壓力閥。室內壓力可在1000至1400毫巴的範圍內調節,使濺射速率和粒徑得到最佳控制。該腔室還包含一個集成的直流控制磁控管,它創造了一個均勻分布用於濺射的氙等離子體。9550濺射資產非常適合需要快速、均勻、高容量薄膜沈積的應用。它提供強大的性能、專業功能和可靠的結果。它的兩室設計和可調節的壓力使得能夠定制地控制濺射速率和粒徑,其直流控制的磁控管確保了均勻高效的濺射等離子體。此外,該型號性價比高,易於安裝和操作。
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