二手 NOVELLUS MB2 #100079 待售

NOVELLUS MB2是一款最先進的濺射設備，專為高通量、高精度、可重復的應用而設計。該系統為高級沈積過程提供了一個強大而高效的平臺。MB2濺射裝置能夠產生高度均勻的保形薄膜，在大小不一的基板區域具有極好的階梯覆蓋。NOVELLUS MB2采用獨特的數字TVB（薄膜氙）技術,利用高功率射頻濺射技術實現快速高效的沈積。先進的控制機器允許精確和可重復的濺射沈積過程，提供卓越的材料一致性，以及在整個基板上均勻的厚度。Digital TVB還具有先進的QuickStart參數和多個流程預設，使運營商能夠快速準確地設置和運行多個沈積流程。MB2提供獨特的兩室設計,提供靈活性和使用效率。主沈積室足夠大，可容納200毫米以下的底物，小樣品室可處理75毫米以下的底物。樣品室可以獨立於主室調諧，使主室通量更高，樣品室過程更優化。該工具配備了多種氣體，包括用於化學氣相沈積過程的Ar、O2和N2。NOVELLUS MB2還具有過程監測系統，如石英晶體微平衡/石英晶體阻抗（QCM/QCI）傳感器和光發射光譜（OES）傳感器。這些監測系統用於密切監測和準確控制沈積過程，確保高度的精確度和可重復性。MB2提供了多種工具和技術,使其成為各種應用的絕佳選擇,例如光電子、微電子和電源設備。NOVELLUS MB2具有先進的特點和可靠性，是精密沈積工藝的絕佳選擇。