二手 NOVELLUS MB2 #9270552 待售

製造商
NOVELLUS
模型
MB2
ID: 9270552
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Metal sputtering system, 8" 1994 vintage.
NOVELLUS MB2是一款下一代濺射設備,旨在滿足當今先進半導體制造工藝的需求。其先進技術包括最先進的等離子體發生器、高性能目標和工藝室,以及更新、用戶友好的控制軟件。該系統具有高度可配置性,可用於大型和小型制造項目。MB2的目標級設計具有較高的濺射精度,能夠濺射各種材料。目標級包括數字伺服電動機驅動器、無機架垂直升力執行器和位置腔室靈活性,以適應各種基板和目標尺寸。此外,由於其先進的差動泵送裝置,腔室能夠處理高基壓。NOVELLUS MB2配備了兩個高性能的等離子體源:一個雙直流磁控管和一個射頻二極管。這兩個源都能夠提供最大等離子體密度水平來支持任何種類的沈積過程。雙磁控管在整個目標表面提供廣泛、均勻的覆蓋,有助於減少基板的表面損傷。MB2的用戶界面是直觀的,可以方便地控制機器的所有功能。通過其更新的控制軟件,用戶可以自定義折舊參數以滿足其特定需求。NOVELLUS MB2是一種可靠而健壯的工具,可用於各種濺射過程。其先進的技術、控制軟件和用戶友好的界面使其成為半導體應用的理想工具。該資產可以實現高精度和精確度,使用戶能夠生產出缺陷最小的高質量層和基板。
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