二手 NOVELLUS / VARIAN 3190 #9216672 待售

NOVELLUS/VARIAN 3190設備是一種多腔真空式濺射系統，用於在多種材料上的薄膜沈積。它旨在以經濟高效、吞吐量友好的方式提供優秀的薄膜性能。VARIAN 3190采用多室設計，有兩個主要部分。前室是基板轉移容器，所有與基板的工作都在此開始，包括物料處理、底漆、濺射和後處理操作。後室是真空室，在特定參數下產生高真空。真空室可以根據材料、基材尺寸、沈積技術等因素進行定制調諧。除了兩個主腔室之外，NOVELLUS 3190還設有單元內晶圓磁塔、半永久性批量控制器和精細控制磁濺頭。磁塔包含兩塊磁鐵，通過將基板保持在靜止的位置來幫助穩定薄膜沈積。半永久性批量控制器是一種功能強大的室內機械臂，有助於使房間之間的部分物料處理自動化。機械臂還提供了對沈積過程的精確控制。精密控制磁濺射頭是一種精密設計的部件，能夠精確控制濺射時間和電源，最多四個不同的陰極。3190除了提供人性化、一致的物料處理/濺射機外，還因其低沖擊力的環境設計而得到認可。該工具能夠與一個非常低流量的艙室通風操作，使其非常適合封閉和露天環境。它也被設計為允許使用環保溶劑，從而減少揮發性有機化合物（VOC）釋放到大氣中。NOVELLUS/VARIAN 3190資產是可靠高效的濺射模型，提供優異的沈積效果。該設備具有多個腔室、機械臂和磁性濺射頭，為各種沈積應用提供了有效、靈活的解決方案。此外，它的設計特點使它成為一個環境友好的系統，減少VOC排放和成本。