二手 NOVELLUS / VARIAN XM 90 #9226347 待售

NOVELLUS/VARIAN XM 90是為研發或生產環境應用而設計的濺射設備。VARIAN XM 90是一種數字化的模塊化腔室，在薄膜沈積方面提供高度的控制和靈活性。該系統具有500毫米乘500毫米的腔室，由5個濺射源組成，目標尺寸從10-60厘米不等。它設計用於加工多種材料，包括金屬、陶瓷和有機基板。NOVELLUS XM-90旨在為過程監控和優化提供多種選擇。它有一個用於惰性和反應性氣體應用的自動氣體控制單元，可以精確控制等離子體。此外,還可以調整工藝參數（如壓力、射頻功率和溫度）以自定義工藝參數。集成光學機器能夠實時監測沈積條件，閉環反饋工具有助於確保精確的薄膜和可重復的結果。NOVELLUS/VARIAN XM-90的設計具有快速幹燥的波紋管資產,可方便快捷地裝卸樣品。它還設計為與各種其他VARIAN機器（包括XM 70、XP-6010和XP-61000機械兼容,從而可以輕松集成到現有設施中。此外，該模型還包括操作員和設備的全面安全聯鎖。XM-90有一個計算機控制的流程周期,允許可編程的流程參數、遠程訪問和自動配方執行。其易於使用的圖形用戶界面（GUI）旨在提供對流程配方的輕松控制和監控。此外,VARIAN XM-90的控制接口支持鏈接的計算機網絡,並可提供對XM 90的遠程訪問。總體而言,NOVELLUS XM 90是為研究和生產環境設計的高級濺射系統。它具有廣泛的選擇和特點，可以精確控制和優化可重復的高質量膠片的工藝。此外,該設備還提供出色的安全功能、輕松集成到現有設施以及遠程訪問。因此，NOVELLUS/VARIAN XM 90是尋求可靠、多用途濺射機的用戶的理想選擇。