二手 NRC / VARIAN 3115 #70870 待售

NRC/VARIAN 3115是一種全自動濺射真空系統，設計用於高度精確的薄膜沈積應用。它以高性能、魯棒性和用戶友好的設計而廣為人知。該系統配備了先進的旋轉濺射槍，能夠同時沈積導體和絕緣體薄膜。此外，利用PLC（可編程邏輯控制器）和鼓風機壓力控制，提供精確的過程監控和維護效率。NRC 3115的腔室非常幹凈，可以沈積具有極好的可重復性和均勻性的薄膜層。它配備了可變深度目標架和原位旋轉目標對準，從而消除了粘附目標的風險。真空水平穩定，在沈積過程中，使用內置質量流控制器調節壓力控制。VARIAN 3115設計用於處理所有類型的濺射過程，包括薄膜沈積、超薄膜層和分層沈積過程如多層堆積。溫度控制是通過電阻加熱元件完成的，該元件可用於在整個濺射目標上提供均勻的溫度。這確保了敏感材料的均勻和完美覆蓋。通過調整工藝參數，可以將薄膜層的濺射量和組成精確控制在+/-0.5%以內。厚度控制可以很容易地使用光學高溫計或橢圓偏振計。3115的大腔室尺寸，加上其連續的工藝監測，使得大型部件的生產相對不費力。NRC/VARIAN 3115是生產真空元件的寶貴工具，具有廣泛的特性和性能參數，能夠成功處理各種濺射過程。其可靠、用戶友好的設計使其成為優質薄膜沈積應用的絕佳選擇。