二手 NRC / VARIAN 3115 #70871 待售

NRC/VARIAN 3115是為薄膜沈積而設計的最先進的濺射設備。它利用了兩個獨立的高真空濺射室和四個磁控管。每個磁控管都可以用各種目標材料定制，並且能夠獨立控制塗層膜的厚度。腔室設有惰性氣體回填、抽出站和4目標、4磁控管濺射裝置。該系統適用於幾種應用，如用金屬、金屬氧化物和金屬氮化物材料塗覆基板。可用於覆蓋各種底物和材料，包括單晶、多晶、無定形、納米晶體結構。該裝置具有低熱預算的氧化物和氮化物沈積能力，為薄膜應用提供了優越的界面質量和優越的層質量。NRC 3115機設計用於為各種拓撲和光學應用提供高精度、可重復的薄膜濺射沈積。它的六軸外部目標控制和四個磁控管目標能夠生產出對所有子層特性和整體膜組成，如組成均勻性和光學清晰度均勻控制的薄膜。此外，它還能夠生產含有多層的分級膜，如陶瓷、透明導電氧化物和金屬氮化物。通過其用戶友好的直觀觸摸屏顯示,該工具提供了強大的高級控件和最先進的流程診斷。資產還為過程控制提供實時反饋方法,包括動態過程控制、過程優化和診斷。此外，它還提供了幾種類型的圖形過程控制功能，包括圖形過程監控和沈積特性。VARIAN 3115是一種創新、可靠和經濟高效的工具，使研究人員和工程師能夠創造出質量非凡的先進薄膜產品。因此,對於尋求頂級濺射技術的組織來說,這是一個可行的選擇。