二手 NRC / VARIAN 3117 #126817 待售

NRC/VARIAN 3117濺射設備是為薄膜高效沈積而設計的高性能、可靠的濺射工具。它能夠沈積金屬、氧化物、氮化物和氣凝膠等多種材料。該系統結合了三個過程：蒸發、離子轟擊和濺射。它有兩個完全獨立的腔室，可以選擇三種磁控管構型之一：磁控管、鈦或間接的。該裝置還包括兩個用於蒸發和濺射的射頻源，以便以較高的沈積速率和增強的均勻性進行沈積。此外,該機器具有4英寸負載鎖定功能,並且在兩個腔室中都有一個樣品鼓,這樣可以快速方便地進行樣品傳輸和加載。NRC 3117搭載超高真空工具，底壓10-6 Torr，保證了卓越的薄膜質量和均勻性。射頻源可用於控制頻率、功率水平和脈沖調制，允許對沈積參數進行微調。該資產還具有用於監控和設置條件的PC控制接口，以及具有質量流控制器（MFC）的可調氣體分配模型，用於設置各種工藝參數。VARIAN 3117具有易於使用的射頻濺射旋轉項圈設備，可以精確控制濺射材料的角度。此外，該系統還有一個內置的高壓電氣安全裝置，用於監測電源的電壓並防止潛在的危險情況。該機還包括一系列附件，如用於安全處理的樣品基座、用於加熱樣品的耐熱元件，以及用於改進對薄膜性能控制的若幹磁性和惰性氣源的選擇。3117設計為用戶友好型工具,具有直觀的用戶控制軟件和多種功能,易於使用。高精度的沈積技術，低熱預算，可靠的建造質量，使其成為各種沈積應用的絕佳選擇。NRC/VARIAN 3117是創建高速率、質量優良的均勻薄膜結構的理想工具。