二手 NRC / VARIAN 3117 #151541 待售

NRC/VARIAN 3117是一種設計用於高精度沈積過程的低壓直流（DC）磁控管濺射設備。濺射系統采用雙口袋磁控管濺射頭在多種基材上沈積優質塗料。濺射裝置包含一臺先進的射頻電機，旨在最大程度地提高沈積產量和均勻性。它能夠沈積各種材料，從金屬到半導體和絕緣體。NRC 3117還包括一個真空工具，用於創造一個幾乎完全清潔的濺射環境，以及一些安全功能，以確保資產符合政府標準。真空模型采用七級機械渦輪泵、隔膜泵和Pirani儀表，將樣品排空至約1.3 x 10-6 mBar的基本壓力。設備還配備了減少除氣的冷陷阱、確保沈積金屬為純濺射金屬的氣體分離器和測量大氣汙染程度的電離計。濺射頭可裝載多種來源，從金屬到絕緣體。VARIAN 3117中的電源可配置為直流磁控管濺射和射頻或脈沖直流濺射沈積。射頻電源設計用於高功率負載和快速頻率切換,可精確控制沈積速率。它具有0到1.2 kW的可調射頻功率和0到4 μ S的可調脈沖寬度。磁頭設計為響應快、通量高，工藝條件可調整，使膜生長最優。3117提供了廣泛的溫度控制，從環境到930°C（1706°F）。高溫的crucible設計可以防止由於熱梯度而對基板造成汙染。NRC/VARIAN 3117還配備了先進的軟件，允許閉環反饋控制和微處理器輔助操作。用戶友好的界面允許實時監視、記錄和控制濺射和輔助進程。總體而言，NRC 3117是一種先進、用途廣泛的濺射系統，可用於多種應用。用戶友好的界面和廣泛的控制參數使其成為高精度沈積過程的理想選擇。