二手 NRC / VARIAN 3117 #171831 待售

NRC/VARIAN 3117是一種用於薄膜沈積工藝的濺射設備。它是一個閉環直流電源系統，能夠產生從0V到-700V的各種直流偏置電壓。該單元配備了一系列功能，包括手動和自動濺射控制、高壓直流濺射、高速度濺射、超高速度濺射。該機還可以配置各種材料，包括鋁、鈦、金、銅。這種濺射工具在一個充滿低壓氣體的真空室中工作，通常是氙氣或氮氣。氣體由電子束真空源產生，由鼓風機風扇循環通過腔室。這種氣體在腔內保持穩定的氣氛，也有助於防止在腔壁表面堆積沈積物。在腔室內，一個旋轉的磁控管被用來產生離子，然後被送到樣品。樣品通常被放置在基板支架上，可以在濺射過程中上下移動和旋轉。還加熱支架，以確保物料在樣品上逐層濺射，很好地附著在基板上。磁控管的電源可以手動設置，也可以使用計算機控制的程序使濺射過程自動化。無論哪種情況，通過磁控管的電流都被測量並用於調節離子轟擊的速度和強度。這樣可以精確控制濺射過程。NRC 3117濺射資產也提供了一個方便的方式來監控過程。內置攝像機和監視器可實時查看濺射過程。此外，集成電路軟件和硬件可以準確測量沈積過程的質量。VARIAN 3117濺射模型是為薄膜的精確沈積而設計的.它具有多種特性、靈活性和監控能力，是各種沈積應用的理想選擇。