二手 NRC / VARIAN 3117 #19408 待售

NRC/VARIAN 3117濺射設備是金屬和絕緣材料層物理氣相沈積的綜合沈積系統。它設計用於多種應用，包括用於微電子和光電器件的塗層、薄膜晶體管、磁體和其他先進結構。該裝置采用雙槍設計，能夠在大面積上產生均勻、平滑的沈積。NRC 3117具有先進的滅弧技術,可實現卓越的過程重復性和可靠性。該技術采用均勻的離子發射錐和狹窄的電場線，防止電弧和火花的發生。它有四個獨立的目標位置、先進的射頻電源和控制器,以及集成的旋轉運動和冷卻功能,使其能夠在大面積上有效地沈積統計上均勻的層。VARIAN 3117幾乎與任何類型的材料兼容，包括金屬、半導體、絕緣體和高k電介質。它的模塊化設計允許各種基板尺寸和形狀,從而能夠手動或自動控制基板的形狀和位置,從而獲得最佳效果。其可重新加載的盒式磁帶和板載清潔室有助於快速的工具重新配置和嚴格的過程控制。該機器還采用電子旋轉控制（ECR）技術進行精密的過程控制，使源晶片和舞臺位置能夠精確旋轉。這項技術對特定的金屬、碳和其他元素產生均勻的層和氙離子束清洗。該工具還提供先進的過程監測和反饋系統，以實現自動沈積和清潔周期，並提高過程的可重復性。其循環資產和雙向擋板模型防止了沈積過程中流出通量的汙染和顆粒物的進入。3117濺射設備是需要高精度、高通量沈積清潔、均勻金屬或介電層的新興技術的理想解決方案。其先進的以生產力為導向的特性使得它成為各種應用的誘人選擇，從先進的微電子到醫療設備。