二手 NRC / VARIAN 3117 #293621573 待售

NRC/VARIAN 3117是為各種材料的薄膜和膜的高效沈積而設計的最先進的濺射設備。可用於制造多種類型的薄膜和膜，如金屬、半導體、電介質和聚合物制成的薄膜和膜。該系統由濺射源和真空室兩個主要部件組成。濺射源是一個強大的磁控管，具有三個平面磁控管和兩個產生強烈磁場的旋轉磁鐵。這種磁場導致源室內的高能電子級聯。這些電子轟擊目標物質，從其表面噴射出原子，形成中性原子雲。這種原子雲，或稱等離子體，然後被轉移到真空室，在那裏它在底物上沈積薄膜或膜。真空室是一種圓柱形的不銹鋼容器，能夠達到1 x 10-6 Torr或更低的底壓。它裝有基板設置、支撐臂、手動調節的噴嘴、用於溫度控制的加熱器和電阻器以及其他輔助部件。基板設置包括旋轉基板安裝、高達1000 RPM的旋轉速度和可選的晶圓支架。支撐臂將噴嘴固定到位，可選的晶片支架為薄膜沈積提供穩定的表面。溫度控制是通過使用置於基板設置中的加熱器和電阻器來實現的。此外,NRC 3117設備還具有用於設置參數、監控性能和控制機器的綜合控制面板。面板由處理器單元、模擬控制板和數字控制板組成。處理器單元允許用戶設置功率、目標材料和沈積速率等參數，而模擬和數字控制板則監視和調節工具的性能。簡而言之，VARIAN 3117是一種可靠的濺射資產，在制造薄膜和薄膜時提供卓越的精度和控制。它提供了多種材料的高效沈積，其精密的控制面板允許用戶監控和優化模型性能。3117具有先進的特點和可靠的性能，是薄膜制造的理想選擇。