二手 NRC / VARIAN 3117 #293625152 待售

NRC/VARIAN 3117設備是一種精密的濺射系統，能夠生產復雜的多層薄膜。它由幾個不同的部件組成，即濺射室、目標負載鎖和可變的高真空泵機。濺射室是一個完全封閉的水冷不銹鋼室。它配備了兩個獨立輪廓平面，雙磁控器源與數控可變功率。這允許以非常高的沈積速率對精確和精確定義的目標形狀進行濺射。目標載荷鎖是一個堅固的自動腔室，用於將濺射材料輸送到濺射腔內。它還具有負載匹配能力，能夠以最小的背壓轉移材料。可變的高真空泵機提供了最佳的過程控制，並允許大量的固體和氣體被濺射。該工具還包含幾個特定於工藝的特殊功能，如樣板支架組件、閉環制冷資產以及濺射樣品清洗和濺射脫氣能力。總體而言,NRC 3117濺射模型是一種先進的技術,能夠以最佳的精度、可重復性和可靠性生產高質量、復雜的多層薄膜。