二手 NRC / VARIAN 3117 #3842 待售

NRC/VARIAN 3117是一種高性能濺射設備，設計用於在多種基板上產生薄膜沈積。該系統的沈積速率超過每分鐘500埃，用於半導體制造業，以及光學、MEMS和薄膜工業。NRC 3117具有優化的脈沖直流濺射源和磁控管配置。這種構型使薄膜沈積得到精確控制，在基板上覆蓋均勻。該單元還包括一個可以配置用於氣體或層狀濺射的濺射源。VARIAN 3117配備了先進的沈積控制能力，如監測沈積速率和實時調整的能力。機器還通過濺射目標的可調壓力提供對薄膜形態和雜質水平的精確控制。3117有模塊化設計，能夠快速安裝和操作設置。該工具還配備了高級診斷功能,可提供有關濺射資產性能的寶貴數據。設計中還包含了一系列自動化功能，包括自動卡帶加載、基板尺寸檢測和基板定位控制器。NRC/VARIAN 3117完全符合關鍵的安全相關標準,如NFPA-79和CSA C22.2 No.14-91。它還能夠通過其發電機許可操作功能對生產過程進行標準化和驗證。即使提高了生產速度，NRC也能夠提供高度準確的結果。總體而言，NRC 3117模型是一種功能強大、高效的濺射設備，為各種基板上的一致薄膜沈積提供了廣泛的優化能力。其多才多藝的設計，加上先進的診斷和自動化能力，使其適合各種生產需求。