二手 NRC / VARIAN 3117 #9160339 待售

NRC/VARIAN 3117是利用惰性氣體進行材料沈積的大面積濺射設備。它具有兩個安裝在兩軸電動精密級上的大功率磁控管濺射頭。每個磁頭由5kW或20kW的直流電源供電，分別產生70mA和160mA離子電流。該系統配備了多氣體能力，以最多8種獨立氣體控制工藝大氣。它包括一個自動化的數字過程控制器和預先編程的過程配方，以便於操作。NRC 3117有一個大的60 cm x 40 cm主室，配有集成的負載鎖定機制，便於樣品裝載。這樣可以同時將多達四個目標安裝到兩個濺射頭上。該單元還包含一個12英寸的可轉動基板支架，能夠容納各種尺寸和形狀的基板。VARIAN 3117利用一臺基於石英的精密惰性氣體分配機，確保濺射氣體在整個腔室中的準確、均勻分布。這種雙控歧管工具可以獨立操作，也可以用於混合氣體，以達到所需的工藝氣氛。利用精密質量流控制器對腔室內的壓力進行監測和調節，並進行精度校準。3117還具有一個名為「脈沖計數」的現場資產監控功能，這是模型整體性能的一個指標。此外,設備還可以存儲多達10種不同的工藝配方以及詳細的診斷信息。NRC/VARIAN 3117濺射系統旨在為各種工藝提供最大面積的薄膜產量。利用它的大室，精確的控制，通用的氣體系統和可變濺射頭功率，它可以量身定制以滿足任何特定的沈積需要。NRC 3117濺射裝置的設計是為了確保卓越的性能和持久的效果，為多年的可靠服務。