二手 NRC / VARIAN 3177 #9122993 待售

NRC/VARIAN 3177是一種用於薄膜沈積的濺射設備。它旨在為在基板上制造薄膜金屬或介電層提供精確、可靠的工具。NRC 3177由真空室和電源單元（PSU）組成。該系統的核心是其真空室，其設計目的是創造和維持高真空環境。腔室的低真空區域用於雙層濺射（BLS）或三層濺射（TLS）。這意味著腔室可以用來生產附著力高、表面光滑的濺射膜。密封室是完全密封的，這是一個使汙染最小化並使清潔更容易的特性。PSU由電源和控制板組成,用於控制濺射過程。電源能夠提供高達1800伏的直流電源，以及高達100安培的電流，允許不同類型的濺射。此外，控制板可以提供各種預編程參數，也可以定制以滿足特定沈積過程的需要。VARIAN 3177能夠產生多種薄膜應用，包括屏障和共溶劑層、多層結構和擴散屏障。它還能夠處理各種直徑不超過200毫米的基材。3177具有兩條內置氣線，可用於調節濺射過程中的壓力，並在濺射結束時引入惰性氣體。該單元還配備了數據記錄機，允許用戶存儲進程相關數據以供將來參考。NRC/VARIAN 3177由於其直觀的操作接口而易於使用。其先進的特點，如精密控制、數據記錄以及廣泛的兼容基板，使其成為滿足各種薄膜沈積需求的理想選擇。