二手 NRC / VARIAN 3177 #9144755 待售

NRC/VARIAN 3177是一種物理氣相沈積設備，用於在基板上濺射沈積薄膜。它由一個小模塊組成，包括一個濺射室，包括用於產生濺射過程的直流電源、一個泵站、機械平臺和控制單元。此外,NRC 3177系統還包括用於膠片表征和其他高級功能的組件。濺射沈積模塊設計用於利用直流輝光放電工藝將物料從目標（通常是金屬或合金）蒸發到基板上。這裏使用的直流電源使用輝光放電從目標材料產生等離子體場，當離子被吸引到基板上時，使目標原子噴射到基板上。沈積過程由使用的材料、腔室壓力、施加的功率以及目標與基板表面之間的工作距離來調節。泵站由渦輪分子泵和機械泵組成，以維持濺射室中必要的真空水平。軟件控制單元監控和改變氣體流量比來控制腔室壓力。機械平臺容納目標材料、基板載體和橫向軸承。目標通常是圓形的，直徑可達8英寸，基板載體可調節以容納各種尺寸的基板。該平臺還裝有先進的樣品溫度控制器，使用戶能夠精確控制基板的溫度。控制單元由運行軟件接口的個人計算機組成，負責控制單元的各個組件。它有一個直觀的用戶界面，允許用戶根據膠片的所需屬性來編程不同的沈積參數。它還提供了用於管理和歸檔實驗數據的工具。VARIAN 3177濺射機提供高質量的薄膜沈積，易於升級，以滿足當今薄膜器件的高需求。濺射工藝非常適合氧化物、氮化物、純金屬和金屬合金的沈積，適合各種不同的應用。該工具可靠、易於使用,是各種應用程序的理想選擇。