二手 OERLIKON / BALZERS / EVATEC Clusterline 200 #293635940 待售
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ID: 293635940
Sputtering system
(5) CTI Pumps (Including TMC)
(3) CTI Compressors
(2) Rough vacuum pumps
Turbo pump and controller
Residual gas meter.
OERLIKON/BALZERS/EVATEC Clusterline 200是專門為生產薄膜而設計的先進濺射設備。它由幾個組分組成，包括電弧射流離子源、射頻基板偏置源以及高頻發電機和用於濺射沈積的腔室。該系統高度自動化，用戶友好，能夠完全控制沈積過程，並在多種基材尺寸上提供出色的工藝重復性。這種靈活性允許制備非常廣泛的基材。EVATEC Clusterline 200的電弧射流離子源提供強大、穩定的離子轟擊，產生高密度、高速率的蝕刻和濺射沈積。這一來源還確保了蝕刻和沈積過程在多個基板上的均勻性，導致薄膜層更薄，缺陷更少。射頻基板偏置源增加了蝕刻速率，提高了沈積層在大平面上的均勻性。高頻發電機提供可調節的功率輸出，可以調整以滿足不同應用的需求，從而實現長期穩定，最大限度地延長沈積層的使用壽命。BALZERS Clusterline 200的腔室使用氦氣絕緣，以減少汙染和氧化的可能性。它還使用一個傳感器單元來監控沈積過程，以便在出現問題時進行快速故障排除。此外，OERLIKON Clusterline 200還提供了先進的安全功能，如先進的監控機器、下一代腔室密封以及用於監控和報告任何錯誤或不安全狀況的工藝控制單元。所有組件還旨在保護用戶免受與濺射系統相關的潛在危害和健康風險。總體而言,Clusterline 200是任何需要可靠、高質量濺射工具的應用程序的絕佳選擇。憑借其先進的功能，它提供了高度的用戶控制和靈活性，出色的安全特性，以及優越的薄膜層質量。
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