二手 OERLIKON / BALZERS / EVATEC Clusterline 200 #293800020 待售

ID: 293800020
晶圓大小: 12"
Sputtering system, 12" (3) Process chambers: PC-1 (P-Layer) PC-2 (I-Layer) PC-3 (N-Layer).
OERLIKON/BALZERS/EVATEC Clusterline 200是一種濺射設備,用於用薄保護膜塗覆多種材料。該系統利用惰性氣體攜帶要沈積在底物上的元素的陽離子,在底物上產生負電荷。然後將陽離子加速向底物,從而形成一個密集、均勻和保形的材料層。濺射用於多種行業,提供電氣絕緣、耐磨、表面穩定、磨損腐蝕防護、附著和表面性能、光反射等塗層服務。這個濺射裝置有真空泵和疏散室、目標組件、離子源和電子控制機等幾個部件。真空泵將腔室排空,清除汙染物和氧氣,然後產生濺射所需的真空。目標以扁平目標的形式提供金屬或金屬化合物。離子源產生陽離子,陽離子通過腔室向基板加速產生所需的塗層。最後,使用計算機控制工具對過程進行監控.EVATEC Clusterline 200專為提供高質量、可重現的工業級濺射工藝而設計。其工藝質量是通過采用創新的基板支架設計來實現的,該設計能夠容納200毫米大小的基板。此外,該資產還包括一個用於單向濺射的水平旋轉直接樣品支架,可實現更快的濺射速率和增強的塗層厚度均勻性。BALZERS Clusterline 200濺射模型是一種高效可靠的塗層材料設備,適用於廣泛的應用。該系統的魯棒性和多功能性為需要高級濺射結果的研究和生產過程提供了快速可靠的交鑰匙解決方案。此外,其先進的特點,如多區操作、基板自動定位、濺射過程中使用惰性氣體等,使得機組不僅可靠性高,而且用戶友好。這樣可以實現快速、安全的操作,從而實現高度自動化。最後,OERLIKON Clusterline 200提供可靠的塗層,確保高質量的輸出。
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