二手 OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9081784 待售
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已售出
ID: 9081784
晶圓大小: 6"
優質的: 2000
Load lock sputtering system, 6"
Process: TaN
Polycold set up for both chambers
12 wafers per run
Could run 4 targets
Computer and Windows 7 included
Cryo pump load chamber
Turbo main chamber
Currently de-installed
1999-2000 vintage.
OERLIKON/BALZERS LLS EVO是一種用於生產電子元件的濺射設備。它是一種中等功率、高容量的工具,非常適合工業和研究應用。該系統為現代企業的薄膜沈積需求提供了易於使用的解決方案,如鈍化、金屬化和真空沈積。BALZERS LLS EVO旨在在濺射過程中提供高度的靈活性。它能夠沈積各種材料,包括金屬、氧化物和電介質,同時還提供各種濺射技術以確保最佳效率。該單元包括一個用於濺射過程的多區真空室、一個用於精確物料沈積控制的計算機控制控制器,以及一個用於高效目標交換的先進濺射目標附著機。除了高度的靈活性和性能外,OERLIKON LLS EVO還提供了自動化過程控制、高功率濺射能力、高精度場發射掃描電子顯微鏡以及強大的數據分析工具等多種功能。它還被設計為具有較長的使用壽命,具有預防性維護的多個步驟,如定期清潔和定期傳感器校準。這有助於確保高質量的產品,每次都具有一致的結果。總體而言,LLS EVO是一種堅固的濺射工具,能夠生產高質量的薄膜材料。它提供了處理多種材料和技術的靈活性,同時還提供了計算機控制的過程控制、高精度場發射掃描電子顯微鏡和強大的數據分析工具等高級功能。OERLIKON/BALZERS LLS EVO使用壽命長,性能可靠,是各種生產應用的完美工具。
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