二手 OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9208365 待售

OERLIKON/BALZERS LLS EVO是一種高度先進的濺射沈積設備，用於工業和研究實驗室制造薄膜塗層。它通過一系列獨特的特性提供了先進的性能，提供了對材料沈積到基板上的高級控制。基本濺射系統由一個真空室組成，兩個單獨的源物理定位在腔內，並與電源相連。來源可以是圓柱形的，也可以是平面的，有多種來源材料。源的進料由固態閥提供，可以精確控制輸入材料。腔室可以在超高真空環境下或低壓反應環境下運行。此功能提供了在基板上生產所需材料的靈活性。BALZERS LLS EVO的射頻源可以生產高度均勻的塗層,從而降低材料內高缺陷區域的可能性。這是通過使用射頻信號在陽極和陰極表面之間創建諧振頻率來實現的。這種共振增加了室內電離粒子的數量，進而增強了沈積的均勻性和速率。OERLIKON LLS EVO也加入了專利的固態快門單元。本機速度極快，可進行精確脈沖控制。脈沖能提高峰值功率時的離子數量，並能快速啟動和停止沈積循環。這導致粒子的電離增加，允許更短的沈積時間和更高的塗層質量。LLS EVO還提供快速、方便的晶圓交換和處理。一個非常精確的兩軸對齊器用於在腔室之間移動晶片。這樣就可以精確地放置基板以獲得最佳沈積。OERLIKON/BALZERS LLS EVO結合其先進的控制系統，為生產高品質的薄膜塗層提供了一種極為通用的工具。該腔室能夠在各種暴露條件下生產各種材料，缺陷率低。這一資產效率極高，非常適合生產線應用以及塗料技術的研發。