二手 OERLIKON / UNAXIS Clusterline 200 #293643906 待售

ID: 293643906
Sputtering system.
OERLIKON/UNAXIS Clusterline 200濺射設備是將薄膜沈積到金屬、陶瓷和塑料等各種基材上的先進且通用的工藝。這一工具使金屬、半導體和介電膜能夠利用各種技術從各種材料來源沈積。UNAXIS Clusterline 200中使用的特殊濺射方法稱為單批濺射過程。OERLIKON Clusterline 200設計用於可靠和可重現的處理。許多功能有助於其卓越的性能,包括自動控制和過程監控、高精度定位和負載鎖定。此外,它還包含許多創新的設計元素,可確保最優質的影片和可靠的性能。這些要素包括一個額外的房間來容納計算機控制的機械臂,一個光學監測系統和一個閉環過程控制單元。在Clusterline 200的運行過程中,同時監視幾個過程參數。這些參數可以實時調整,允許對沈積條件進行微調,以保證高膜質量和產量。再者,機器裝有等離子體發生器,最多可裝載四種不同的目標材料,允許單批沈積多層。OERLIKON/UNAXIS Clusterline 200可用於包括半導體制造、微電子器件制造和光學塗層在內的廣泛應用。該工具適用於小型和大型生產,並且由於能夠根據客戶的特定需求進行配置,因此非常靈活。此外,它還為用戶提供對工藝參數的廣泛控制,確保經濟高效的生產。總體而言,UNAXIS Clusterline 200是一種多功能、可靠的濺射工具,非常適合高質量、高通量的薄膜沈積。其精密的設計和自動化的控制資產保證了影片的最高質量和統一性,確保了用戶成功的制作過程。
還沒有評論