二手 PELCO SC 7 #9273009 待售

PELCO SC 7
製造商
PELCO
模型
SC 7
ID: 9273009
Sputter coater.
PELCO SC 7是由Semicore Equipment, Inc.作為其PELCO系列濺射工具的一部分開發的先進濺射設備。該系統設計用於半導體、光電子和MEMS(微機電系統)制造過程中的生產濺射。SC 7單元具有最先進的設計,使其成為各種表面濺射沈積的理想選擇。本機可濺射金屬、氧化物、氮化物、金屬等材料。PELCO SC 7可用於在矽片、玻璃、PET等剛性和柔性基板上沈積薄膜。它配備了一個304系列不銹鋼工藝室,其大小可以容納四個2「晶片或兩個5」晶片進行沈積。大型加工室為濺射各種尺寸和配置的基板提供了更大的靈活性。SC 7具有較高的沈積速率,能達到10nm/min的高效金屬沈積。該工具還具有很高的汙染水平,由自動調整資產進行監測,自動調整濺射過程的參數,使汙染水平始終保持在較低水平。其內置的高級源限制模型(ASC)有助於保持底物的清潔和無汙染物表面。PELCO SC 7是可定制的,具有多種調諧功能選項,如氣流、目標角度、氣體定時、電流和壓力。設備還包括一個高效的電源模塊,能夠提供高達2000瓦的功率。這個電源是完全可調的,讓它被精確調諧,以滿足你濺射過程的具體要求。還有一個集中式真空系統,包括渦輪分子泵、質量流控制器和前泵,設計用於維持所需的真空環境並確保均勻的膜沈積。SC 7是一個通用的濺射單元,可用於多種應用和行業。它旨在提供一致和準確的結果,使其成為研發、工業制造和高科技電子的理想選擇。PELCO SC 7具有先進的特點和可靠的操作,是需要精確高效沈積的濺射工程的絕佳選擇。
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