二手 PERKIN ELMER 2400-6J #35438 待售

PERKIN ELMER 2400-6J濺射設備是一種通用、高精度的薄膜沈積工具。其性能和精度使其成為光學薄膜塗層、MEMS和掃描電子顯微鏡（SEM）芯片處理及晶片尺度互連等薄膜應用的理想選擇。這種濺射系統是為金屬的沈積而設計的，包括鋁、鉻、氙和鎢，以及這些金屬的氧化物和氮化物。2400-6J的模塊化設計在優化薄膜沈積工藝以滿足特定要求方面具有多功能性。它包括一個高容量的腔室，能夠同時處理多達8、24或48個晶圓。這個高容量單元還允許在一個過程中將多層濺射到單個基板上。高功率、多磁控管和平面濺射源包括在這臺機器提供均勻和快速的薄膜沈積速率。該工具具有易於解釋的圖形用戶界面,使其易於使用,並具有多個窗口,可提供全面的流程控制軟件包。一組預設的配方可以方便地設置和重復結果。該資產還能夠實時監視和控制濺射參數，從而實現快速的過程優化。該模型具有促進濺射過程高效運行的多種特點。其中包括一個氣體管理設備，可有效管理用於沈積的反應性和非反應性氣體；真空管理系統，使真空得到更多的控制和提升；以及一個自動晶片處理單元，它提供方便和快速的晶片裝卸。為了確保最高的可重復性和可重復性，PERKIN ELMER 2400-6J具有多種安全特性。這包括一個溫度過高的安全開關,自動聯鎖操作和監測腔室的溫度和壓力.該機還具有多種後處理控制，如測量晶體取向均勻度、表面質量和平滑度等。2400-6J對於那些需要能夠提供高質量薄膜沈積工藝的高精度濺射工具的人來說是一個理想的解決方案。它的設計和直觀的控制資產,以及一系列的安全和後處理控制功能,使其成為從光學薄膜塗層到MEMS加工等各種應用的理想選擇。