二手 PERKIN ELMER 2400-8SA #153592 待售

ID: 153592
Sputtering system with (1) 12" target.
PERKIN ELMER 2400-8SA是一種提供卓越薄膜沈積性能的濺射設備。其應用包括生產用於半導體器件的薄膜、光學多層以及機器部件的硬質塗層。該系統設計的最大靈活性和可靠性,提供了廣泛的定制基板安裝配置和磁控管源為濺射沈積。該單元由一個真空室組成,可容納多達8個同時沈積的基板。每個基板都安裝在一個單獨的安裝座上,可以很容易地根據所需的角度和旋轉進行調整。腔室配有孔徑板,允許可變沈積角度。然後通過供油渦輪分子泵將腔室排空,保持在8 x 10-5 mBar的底壓。濺射過程由電源和磁控管源驅動,可以設置為在直流、脈沖直流或射頻操作中運行。根據來源配置,機器可以生產金屬、金屬氧化物、絕緣體甚至透明膜等多種薄膜。此外,磁控管源可以配備一個可選的旋轉目標,允許更均勻的濺射沈積。采用各種過程控制和監測技術來確保一致和可重復的結果。室內測量壓力和溫度,實時監控磁控管功率和電壓,確保對薄膜沈積過程的準確控制。2400-8SA工具是為便於使用和低維護而設計的。配備了直觀的觸摸屏界面,用戶可以輕松快速瀏覽菜單和設置作業。此外,真空室設計方便,便於維修和清潔.總體而言,PERKIN ELMER 2400-8SA濺射資產是一種可靠、高性能的薄膜沈積解決方案。其靈活性、易用性和優異的薄膜沈積性能使其非常適合廣泛的工業和科學應用。
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