二手 PERKIN ELMER 2400-8SA #98401 待售
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單擊可縮放
ID: 98401
晶圓大小: 6"
優質的: 1980
Sputtering systems, 6"
(3) 8" Round RF Diode Cathodes
Annular Table 21.5" O.D.
Variable Speed Drive Motor
Anode Cathode Spacing
RF Power 1 & 2 kW
Servo Match Auto Tune
Load & Tune Functions
RF Forward & Reflected Meters
Target Selector Mode Selector
Shutter full circle design
Shutter position selector
Auto Pump Sequencing
Cryo Pumped
Hoist for Sputter Head
Other options available
No DC bias
Runs on 2 Kw
Missing load lock chamber
Currently installed
1980 vintage
As-is, where-is.
PERKIN ELMER 2400-8SA濺射設備是一種先進的設備,用於將材料薄膜沈積在各種形狀和尺寸的基板上。該系統易於使用,由於其嚴格控制的環境和專門設計的組件,因此能夠提供卓越的效果。該裝置采用高真空室設計,對1E-8 torr(1.3 x 10^-5 Pa)有效。該腔室裝有用於三個獨立源的單獨等離子體陰極端口,以及用於插入基板的端口。陰極由鈦鎢合金制成,多個系統可集成,沈積時間延長。該機配備了OS-500低溫高真空泵,為從薄膜到厚膜的沈積物提供了極好的高真空度。高功率濺射目標源產生的強磁場保證了基板表面的均勻粒子轟擊。該工具還配備了提供特殊光束-目標相互作用和均勻膜沈積的25kV離子槍。資產的高性能數據模型允許用戶監控和調整基板溫度和壓力、電流、電壓和沈積速率等參數。這使使用者能夠達到嚴格的沈積規格,優化薄膜特性。此外,設備還可以與附加組件集成,以實現多種濺射沈積過程,如磁控管濺射和反應性濺射沈積。2400-8SA濺射系統是薄膜和其他材料沈積的最先進的系統之一。該裝置對各種參數和多種組分的嚴格控制允許沈積不同厚度和規格的薄膜,使用戶的精確度和精確度是無法比擬的。該機還能夠用於反應性濺射沈積、磁控管濺射等,使其用途極為廣泛,適用於各種沈積過程。
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