二手 PERKIN ELMER 2400 Series II #293798355 待售

PERKIN ELMER 2400系列II是為薄膜沈積應用在研發中設計的濺射設備。它提供了多種高度可配置的濺射源以及從金屬塗層到矽膠晶片金屬化的各種應用選項。該系統配備了多顯示器、多終端操作員面板，提供實時數據和對所有單元功能的控制。該機設計用於批量或連續操作，采用集成數字控制器自動控制濺射過程參數。2400系列II采用強大的陶瓷放電源設計,可提供高達0.2納米/秒的沈積速率。該工具共有四個濺射陰極組件,可配置用於各種不同配置的塗層材料。該資產支持使用可配置的掩蔽和晶圓居中系統將濺射沈積到直徑不超過24英寸的基板上。系統腔室采用石墨吸收器和渦輪分子泵的組合進行真空密封。腔室壓力通過電容壓力計持續監測，允許在濺射過程中精確控制壓力。一種集成的氣體入口特性使得向沈積室中註入的氣體，例如氙氣成為可能。該模型得到一個集成設備軟件平臺的支持，該平臺允許各種過程控制功能。它提供了一個圖形用戶界面，用於實時監控關鍵過程參數和測試參數。還支持配方創建和存儲等管理功能。PERKIN ELMER 2400系列II為薄膜沈積應用提供了卓越的可靠性和性能。憑借業界領先的可配置性和先進的系統功能,對於那些希望最大限度地提高研發能力的人來說,這是一個理想的選擇。