二手 PERKIN ELMER 2400-SSA #9123997 待售

ID: 9123997
晶圓大小: 2-8"
Physical vapor deposition system, 2"-8" DC Magnetron cathodes (1) RF etch station CTI – 8 cryo pump No mechanical pump Power supply: 2KW Power splitter for co-deposition.
PERKIN ELMER 2400-SSA濺射設備是一種用於材料沈積的先進實驗室儀器.帶電粒子向目標材料表面加速,與現有表面進行位移和原子合並,以創建超薄層配置。濺射系統被用於薄膜沈積,產生了許多工業應用,如微納米電子、電介質和半導體具有改進性能的材料。2400-SSA單元是一個小巧和用戶友好的濺射機結合容易設置和運輸。它是人體工程學設計,在X-Y二維平面運動中操作。這允許創建半導體配置的精度和準確性。該儀器還具有升級為三維工具的能力,以便在復雜的設計上進一步精確。資產使用四口袋源濺射電源,提供多種濺射方法。此電源旨在提高材料沈積精度,可提供高達10 kW的全方位電源。電源還配備了最大濺射頻率和高級電流目標程序員。該模型的精密軟件允許用戶調整表征參數,如底物溫度、沈積速率和沈積功率。軟件還包括能量綜合容量功能,使用戶能夠使用特定的電荷、電流和電壓設置來個性化沈積參數。這一特點導致了一個超精細的表面光潔度與可靠的材料沈積一致性。PERKIN ELMER 2400-SSA濺射設備是一種多功能儀器,能夠在較高的溫度梯度下進行多位置濺射。它是需要利用薄膜沈積的工業應用的理想工具。該系統具有減少汙染的氣密設計、高容量真空室和先進的控制器,在生產過程中提高生產率和管理工件。此外,對於需要先進濺射能力的各種工業項目,2400-SSA單元是一個經濟高效且易於使用的解決方案。
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