二手 PERKIN ELMER 2400 #293721276 待售
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ID: 293721276
Sputtering system
8F Cryopump
(2) Cathodes, 8"
Cathode, 4"
(10) Wafers substates, 4"
Radio Frequency (RF) power supply.
PERKIN ELMER 2400是一種PVD濺射設備,是精密電子和其他設備制造的可靠解決方案。該系統由於具有高技術的非接觸式旋轉磁控管,能夠精確地濺射到多種材料上,具有很高的可重復性。該濺射裝置的設計目的是在生產速度比傳統設備快得多但仍保持較高沈積速率的情況下應用薄膜。其最大工藝面積為24 "x 24" x 12",並利用角度為45度的扁平矩形目標,允許在整個表面均勻沈積。機器能夠連續控制過程濺射功率,允許用戶保持一個過程時間,從而產生一致的薄膜。此外,該工具的基板溫度範圍可調整為20-120 °C,非常適合各種金屬、電介質和塑料。用戶友好的液晶觸摸屏提供了多種控制功能,使設置和操作參數精確且可重復。其中包括數字PID溫度控制、AUTO濺射功率控制、最多16種不同的工藝一致性配方、用於腔室溫度和真空的數字讀數以及自動氣體安全互鎖資產。此外,還有一個易於使用的編程菜單,用於對模型參數進行編程,允許用戶根據其特定需求定制設備。在維護和服務方面,2400采用模塊化結構,便於拆卸和重新組裝。它包括一個方便的服務抽屜與備件和工具的存儲規定。該設計還具有多個帶有快速耦合配件的端口,可以安全、快速地連接控制臺、泵和遠程服務工具。總體而言,PERKIN ELMER 2400是一種可靠和用戶友好的濺射設備,可用於制造精密電子和其他設備。它提供了一個可調基板溫度範圍,精確和可重復的工藝參數,和一個模塊化結構,方便維護和服務。
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