二手 PERKIN ELMER 2400 #42887 待售

製造商
PERKIN ELMER
模型
2400
ID: 42887
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6" Sputters down (3) Diameter RF targets for metals / Dielectrics, 8" Ion / Dual TC gauge DC Power supply (2) RF Power supplies (8) CTI Cryopumps CTI 8 Cryopump with compressor ENI OEM 12B RF Power supply, 12 kW MATT VAC 5 kW DC Supply with pulse option Soft etcher LEYBOLD D30A Dual stage mechanical pump Direct drive mechanical pump With spinning ring holds up to wafer 6" DC Power supply.
PERKIN ELMER 2400是一種將先進的濺射設備與直觀的用戶界面結合在一起的濺射設備。該系統使用直流電(DC)和射頻(RF)源的組合,將導電和絕緣材料層沈積到基板上。通過改變被濺射材料的數量和種類以及目標環境,可以在玻璃、SiO2、GaP、金剛石等不同基材上產生各種薄膜類型。2400具有高功率、緊密耦合的磁控管濺射源,用於沈積具有良好附著力的高度均勻的層。該源在機械可調的底座上有獨立的濺射源和棧座槍,允許源對基板傳遞的最佳角度。鐵軌槍允許精確地輸送濺射材料,在基板上均勻,可以達到8微米的尺寸。PERKIN ELMER 2400使用高精度機器人級進行基板操縱。這可以讓使用者準確的移動和定位其基板,以及調整基板與源的角度和距離。這樣可以確保獲得最高質量的塗層,同時減少塗覆基板所需的時間。2400極易使用。其用戶友好的圖形用戶界面(GUI)提供了一種方便的方式來控制單元參數,以及提供自動配方創建和管理。該機還配備了多種真空儀表和監視器,可以測量腔室壓力和監測工藝條件。總體而言,PERKIN ELMER 2400是一種功能強大的濺射工具,可用於各種應用程序。它配備了先進的濺射源和直觀的用戶界面,使用戶能夠通過精確的控制將導電和絕緣材料層快速可靠地沈積到自己的基板上。此外,該資產還設有一個用於精確基板定位的高精度機器人平臺,以及一系列用於連續過程監測的真空計和監視器。
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