二手 PERKIN ELMER 2400 #9022812 待售

PERKIN ELMER 2400濺射系統是世界領先的濺射工具，為薄膜、納米結構和基板上的多層堆棧提供精確的沈積層。它非常適合各種應用，從精密塗層到制造光電和基於MEMS的設備。它具有堅固、高通量的設計，能夠在高沈積速率下實現均勻濺射，精度和精確度。該機配備了可變面積的鎖載室，可容納直徑達200毫米的基板，以及能夠濺射多種金屬和廣泛合金的多個行星目標。目標安裝在獲得專利的無濺射直流電源上,該電源可同時驅動最多六個配備獨立射頻源的目標。高壓直流電源與射頻發生器耦合,可在大面積上實現高度均勻的塗層,並且在目標溫度高達400 °C時具有較高的沈積速率。2400具有溫度相關的過程控制能力,能夠沈積納米結構、薄膜堆棧和其他質量一致且可重復的材料設備。使用分辨率± 0.1°C的高溫計監測溫度均勻性和可重復性。先進的射頻工藝監測提供了對底物溫度的實時反饋，以確保最佳的底物清潔和沈積結果。該系統還采用垂直濺射技術,采用可實現3D塗層的落地端效應器。它配有車載可編程脈沖發生器，可用於改變脈沖頻率和寬度輪廓，以獲得最佳塗層效果。室內的掃描電子顯微鏡可用於現場監測沈積過程。PERKIN ELMER 2400的設計可容納多達九種不同的卡口安裝踏板，這些踏板配備了樣品裝卸、基板處理和沈積所需的各種工具。該系統還具有直觀的圖形用戶界面,並提供完整的計算機輔助制造（CAM）控制和完整的軟件兼容性。2400是高性能濺射應用的理想解決方案,可提供卓越的精度、可靠性和吞吐量。