二手 PERKIN ELMER 2400 #9140537 待售

PERKIN ELMER 2400是一種主要用於材料科學領域的濺射設備。它是一種功能強大、用途廣泛且價格合理的工具,用於將薄膜沈積到基板上。該系統包括一個包含多目標濺射源的緊湊外殼、一個真空室、一個低溫冷卻的基板級、一個可變壓力氣體箱和一個濺射氣體箱。真空室提供了一系列的壓力水平和多達六個脈沖沈積源。低溫冷卻的基板級可以容納尺寸從75 x 75mm到200 x 200 mm不等的基板。濺射過程從疏散/除氣階段開始。這包括將腔室下泵至10-4 Torr左右的壓力進行沈積。然後使用電阻熱級將基板加熱到所需溫度，並通過氣體箱將濺射氣體混合物輸送到濺射源。這種氣體使用一系列快速直流脈沖脈沖進入腔室。這些脈沖產生高能粒子，用於進行濺射沈積。最後，裝置中的目標植入惰性氣體，用高達10 Killovolts的電壓電離和轟擊。這種轟擊產生了一陣高能粒子，將物質從目標上濺出並沈積到基板表面。濺射材料通常在表面的幾微米內停止,但可以根據應用進行定制。2400可以沈積多種薄膜，包括氮化物、氧化物、碳化物、金屬合金和介電膜。所有濺射都是在過程參數恒定的受控環境下執行的，從而能夠精確控制薄膜厚度和組成。這臺機器還兼容原位和非原位分析技術，包括各種形式的電子光譜和顯微鏡。PERKIN ELMER 2400是研究設施中薄膜沈積的理想工具,因為它提供精確的控制和廣泛的兼容性。這種先進的濺射資產易於操作、可靠且經濟實惠，使其成為任何尋找優質濺射模型的人的理想選擇。