二手 PERKIN ELMER 2400 #9283811 待售
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PERKIN ELMER 2400是一種適合多種金屬和絕緣膜重新沈積的高功率、高透射式濺射沈積設備。設計用於在各種基板上生產均勻、高質量的薄膜塗層,並配有多種反應性濺射沈積靶標。該系統使用RF(射頻)電源提供高達2 kW的濺射電源,可容納直徑最大為8英寸的樣品基板。非常適合金屬、陶瓷、矽酸鹽、碳化物等先進材料的薄膜塗層和沈積。2400可以一次處理多達四種不同的材料,平均沈積速率約為每秒1-10埃。該單元在濺射沈積過程之前,使用了一種的氙氣、氧氣和氮氣混合物來達到有針對性的濕度水平。PERKIN ELMER 2400還能夠為復合材料地層提供反應性濺射沈積。其高吞吐量允許用戶快速生產多層不同的薄膜,精確度和產量均高於其他系統。該機裝有多個濺射陰極、目標和磁體安裝元件。這允許用戶配置和利用各種沈積配置,並實現更高的吞吐量以提高生產效率。2400還具有廣泛的腔室配置,包括平面、徑向、模塊化和自動化系統。所有這些功能為各種應用程序提供了通用且可定制的沈積功能。為了增加靈活性和控制,PERKIN ELMER 2400配備了可編程PLC(可編程邏輯控制器),使用戶能夠輕松地針對不同的工藝參數配置該工具。PLC還提供自動啟動和停止濺射循環。用戶還可以使用過程控制參數來調整目標位置、功率輸出和氣體混合,以允許優化結果。總體而言,2400是一種理想的濺射沈積資產,適用於需要高質量、可靠和均勻的薄膜塗層的一系列應用。PERKIN ELMER 2400 sputter model憑借其高功率和直通式功能,以及集成的PLC控制工藝參數,使用戶能夠快速、精確地獲得所需的結果。
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