二手 PERKIN ELMER 2400 #9374807 待售
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ID: 9374807
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8"
Target plus: Al 99% Si 1%
Pump controller
Vacuum gauges
RF Power supply
Chamber lift.
PERKIN ELMER 2400是為薄膜沈積而設計的濺射沈積設備。它使用高純度金屬源將材料精確、受控地濺射到基板上,以制造納米晶體、絕緣和/或金屬薄膜。該系統具有單獨的預混合氣體操作以及所需參數(即腔室壓力、功率、氣流、位置等)的自動微調。該單元的四單元布置可以極好地控制所需的過程。該機采用先進的真空工具,可實現最佳濺射環境和惰性氣體的添加,從而控制最佳濺射沈積條件。這一資產還包括先進的控制,對室內環境和沈積過程都有極好的控制。它還提供了操作過程中低噪聲級別的好處,確保了人員的最高質量的工作環境。2400年的濺射源設計為高效可靠,在很長的壽命內提供可靠的濺射產量。他們使用稀土磁鐵來確保最佳的濺射參數環境,確保濺射沈積的最佳質量。還提供了多功能性,因為來源能夠處理不同的材料,使它們對於生產各種薄膜非常有用。該模型也極易使用,具有直觀的用戶界面,使操作員能夠快速了解過程並開始工作。設備配置為簡單的工具,可快速配置、編程和監控系統,從而輕松定制流程以匹配用戶的目標。PERKIN ELMER 2400單元還具有多種安全和可持續性重點功能,以確保對環境的影響和操作員的高安全性。惰性氣體保護和獨立監測系統等安全特點確保了安全和操作效率,降低了有毒氣體釋放的風險。頭對身密封保證了對放電等離子體的良好密封,並提供了額外的安全性。總體而言,2400是濺射薄膜的絕佳選擇,它具有可靠高效的機器,可提供最高質量和最通用的性能。其用戶友好的設計和易於使用的控件,加上安全和環境特性,使其成為濺射過程的理想選擇。
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